ICP-MS具有ICP-AES的優點及比石墨爐原子吸收（GFAAS）更低的檢出限。
我們現在簡要地論述這三種技術，并指出如何根據你的分析任務來判斷其適用性的主要標準。
這幾種分析技術的分析性能可以從下面幾個方面進行比較：
在日常工作中，從自動化來講，ICP-AES是最成熟的，可由技術不熟練的人員來應用ICP-AES專家制定的方法進行工作。ICP-MS的操作直到現在仍較為復雜，盡管近年來在計算機控制和智能化軟件方面有很大的進步，但在常規分析前仍需由技術人員進行精密調整，ICP-MS的方法研究也是很復雜及耗時的工作。GF-AAS的常規工作雖然是比較容易的，但制定方法仍需要相當熟練的技術。
在常規工作中，ICP-AES可分析10%TDS的溶液，甚至可以高至30%的鹽溶液。在短時期內ICP-MS可分析0.5%的溶液，但在大多情況下采用不大于0.2%TDS的溶液為佳。當原始樣品是固體時，與ICP-AES，GP-AAS相比，ICP-MS需要更高的稀釋倍數，折算到原始固體樣品中的檢出限就顯示不出很大的優勢了。
ICP-MS具有超過105的LDR，各種方法可使其LDR開展至108。但不管如何，對ICP-MS來說：高基體濃度會使分析出現問題，而這些問題的最好解決方案是稀釋。因此，ICP-MS應用的主要領域在痕量／超痕量分析。GF-AAS的LDR限制在102～103，如選用次靈敏線可進行高一些濃度的分析。ICP-AES具有105以上的LDR且抗鹽份能力強，可進行痕量及主量元素的測定，ICP-AES可測定的濃度高達百分含量，因此，ICP-AES可以很好地滿足實驗室主、次、痕量元素常規分析的需要。
ICP-MS的短期精密度一般是1～3％RSD，這是應用多內標法在常規工作中得到的。ICP-AES的短期精密度一般為0.3～1％RSD，幾個小時的長期精密度小于3％RSD。GF-AAS的短期精密度為0.5～5％RSD，長期精密度的因素不在于時間而視石墨管的使用次數。
ICP-MS和ICP-AES的分析能力體現在其可以多元素同時測定上。
ICP-AES的分析速度取決于是采用全譜直讀型還是單道掃描型，每個樣品所需的時間為2或6分鐘，全譜直讀型較快，一般為2分鐘測定一個樣品。GF-AAS的分析速度為每個樣品中每個元素需3～4分鐘，可以無人自動工作，可保證其對樣品的分析能力。
ICP-MS運行費用要高于ICP-AES，因為ICP-MS的一些部件如渦輪分子泵、取樣錐和截取錐以及檢測器有一定的使用壽命而且需要更換。
ICP-AES主要是霧化器與炬管的消耗，這和ICP-MS一樣，其使用壽命是相同的。GF-AAS則主要是石墨管的使用壽命及其費用。這三種技術均使用Ar氣，其消耗量是一筆相當的費用，ICP技術的Ar費用遠高于GP-AAS?？梢钥闯鲞@些技術是相互補充的，沒有一種技術能滿足所有的分析要求，只有某一種技術稍優于另一種技術的地方。所以要具體看你的工作需要了。
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